主要参数：

基底真空： 1×10-10 Torr
样品温度范围： 120K-1800K
LEEM空间分辨率： ～50 nm (16% / 84% 判据)
PEEM空间分辨率： ～110 nm (16% / 84% 判据)

功能用途：

单法兰集成式低能电子显微镜(LEEM-IV)将电子照射系统和成像系统集成在一个10英寸法兰上，具有成像（LEEM、PEEM）和衍射功能（LEED），是一种很有用的表面探测工具，可以实时观测表面相变、外延生长、吸附脱附、化学反应等动态过程。作为光电子显微镜使用时，可以选择不同光源（比如高压汞灯、飞秒激光等）用来激发光电子，进一步拓展了它的应用领域，包括实时原位观测样品表面局域功函数变化、单光子及多光子光发射、表面等离激元的激发与传播等。