主要参数：

基底真空： <10 -10 torr  (分子束处于关闭状态)
探测角范围： -70°至 135°
探测手段： 四极杆质谱，飞行时间质谱，程序升温脱附

功能用途：

本装置是分子束技术、表面技术与多种探测手段的结合。可以探测散射产物、散射产物的内能态分布、表面吸附物。可以用于了解表面的引入对于化学反应的影响，了解不同的能量对反应的影响以及产物种类分布以及能量分布情况，给催化反应提供机理方面的理解。